文献
J-GLOBAL ID：201202121995392029
整理番号：12A1365728
高ボロン濃度Si(100)表面の初期酸化過程の実時間STM観察
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著者 (7件)：
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資料名：
巻：
47th
号：
2
ページ：
803
発行年：
2000年03月28日
JST資料番号：
Y0054A
資料種別：
会議録 (C)
発行国：
日本 (JPN)
言語：
日本語 (JA)
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