C<sub>7</sub>F<sub>16</sub>/Heを用いたa-C:F膜のRFプラズマCVD

文献

J-GLOBAL ID：201202148288065246 整理番号：12A1394892

C₇F₁₆/Heを用いたa-C:F膜のRFプラズマCVD

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資料名：
巻： 61st 号： 1 ページ： 85 発行年： 2000年09月03日
JST資料番号： Y0055A 資料種別：会議録 (C)
発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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