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J-GLOBAL ID：201202157797291220   整理番号：12A1346459

STM/STSによるSi(100)基板上ラジカル窒化膜の膜質評価

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著者 (6件)：
松下大介

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(名大 院)

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小林靖司

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池田浩也

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酒井朗

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(名大 院)

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財満鎭明

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(名大 先端研)

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安田幸夫

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(名大 院)

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資料名：
応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)

応用物理学会学術講演会講演予稿集 について


巻： 61st  号： 2  ページ： 706  発行年： 2000年09月03日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
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STM

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