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J-GLOBAL ID：201202215300648707   整理番号：12A0627615

干渉フェムト秒レーザ加工による周期的金属三次元ナノ構造の形成

著者 (1件)： 中田芳樹 (大阪大 レーザーエネルギー学研究セ)
資料名： 天田財団研究概要報告書・国際交流報告書
号： 24  ページ： 221-225  発行年： 2012年03月 
JST資料番号： J0694A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： レーザ加工はマイクロマシニングに有効な手段として種々の開発がなされているが,本研究においては,レーザビームの干渉を利用したナノパターン形成を試みている。発生する干渉縞パターンの高エネルギー密度部分の被加工材の変化(融解,蒸発等)を利用してパターン形成を行なうものである。このような形式ではエネルギー密度の狭領域での変化を得るためにはフェムト秒レーザを用いる必要がある。実験では,150fsパルス幅のTi-サファイアレーザを用い,シリカガラス上に形成した金属薄膜に対する加工を行なった。変調方式(強度,位相およびその両方),金属薄膜の種類を変えた。これらの実験から,様々なナノパターンが得られることを示した。

シソーラス用語： パルスレーザ ,  *光干渉 ,  *ナノ構造 ,  *パターン形成 ,  フェムト秒レーザ
準シソーラス用語： *ナノパターン形成 ,  *レーザ干渉

分類 (1件)： 特殊加工  (QC04000Y)

引用文献 (16件)：

• 1)「最新レーザプロセシングの基礎と産業応用」:次世代・レーザプロセシングとその産業応用調査専門委員会編:電気学会,(2007),121.
• 2)「フェムト秒テクノロジー」:平尾一之・邱建栄編化学同人,(2006),163.
• 3) "Generation of superfine structure smaller than 10 nm by interfering femtosecond laser processing", Y. Nakata, K. Momoo, T. Hiromoto, N. Miyanaga, SPIE Proc., 7920, 79200B (2011).
• 4) "Generation of complicated or duplicated structure by interfering femtosecond laser processing of metallic thin film", T. Hiromoto, K. Momoo, Y. Nakata, N. Miyanaga, SPIE Proc. , 7920, 792013 (2011).
• 5) "Effect of target structure on interfering femtosecond laser processing", Y. Nakata, N. Miyanaga, SPIE Proc. , 7854, OH1-0H6 (2010).

タイトルに関連する用語 (3件)： 干渉 ,  フェムト秒レーザ加工 ,  ナノ構造