光変調器とその製造方法並びに変調光学系とこれを用いた光インターコネクト装置並びに光通信装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：机昌彦 , 下坂直樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-099114
公開番号（公開出願番号）：特開2005-284036
特許番号：特許第5017765号
出願日： 2004年03月30日
公開日（公表日）： 2005年10月13日
請求項（抜粋）：

【請求項1】光変調器であって、基板上に形成したファブリペロ共振器型電気光学光変調器と前記ファブリペロ共振器型電気光学光変調器を駆動する駆動源とを有し、前記ファブリペロ共振器型電気光学光変調器は、電気光学層と、前記電気光学層を上下に挟む下部の電極層と下部の反射層と上部の反射層と上部の電極層とを前記基板上に積層して有し、前記電気光学層の厚さが6μm以上であり、周波数200GHz以下において、前記ファブリペロ共振器型電気光学光変調器が形成するリアクタンスの絶対値が、前記駆動源のインピーダンスより高い光変調器。

IPC (1件)：