文献

J-GLOBAL ID：201402237932599289   整理番号：14A1077692

超短パルスレーザと加工 超短パルスレーザ干渉加工法と近年の進展-メタマテリアルやプラズモニックデバイス作製に向けて-

Recent Developments of Interfering Ultra-Short pulse laser Processing and Applications-For the Fabrication of Metamaterials and Plasmonic Devices-

著者 (5件)： 中田芳樹 (大阪大 レーザエネルギー学研究セ) ,  島田直人 (大阪大 レーザエネルギー学研究セ) ,  松葉良生 (大阪大 レーザエネルギー学研究セ) ,  村川惠一 (大阪大 レーザエネルギー学研究セ) ,  宮永憲明 (大阪大 レーザエネルギー学研究セ)
資料名： レーザ加工学会誌  (Journal of Japan Laser Processing Society)
巻： 21  号： 2  ページ： 83-88  発行年： 2014年06月 
JST資料番号： L3905A  ISSN： 1881-6797  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 超短パルスレーザの環境パターンを用いた物質表面または内部の直接加工に関する研究を進めている。本論文では,4ビーム及び6ビーム干渉パターンがビーム間の位相差・強度比によって変化する様子を明らかにする。さらに2波長の干渉に関する初期的な結果を示す。また,一般的なフェムト秒レーザーの波長である785nm及び第2高調波(SHG)での加工における短周期化の限界を明らかにした。SHG光利用によるエネルギー効率の変化についても検討した。1)4ビームまたは6ビーム干渉においてビーム間の位相比や強度比を変調することで様々な干渉パターンを形成できた。2波長8ビームの干渉パターン形成を初めて確認した。2)透過型回折格子と縮小光学系を組み合わせた干渉加工装置において,干渉パターンの短周期化の検討を行った。3)金薄膜の加工において,波長785nmに対するSHG光のエネルギー利用効率が膜厚14nmで7.5倍,28nmで4倍となる。SHGの方がエネルギー利用効率は高い。

シソーラス用語： *パルスレーザ ,  光干渉 ,  *レーザ加工 ,  人工材料 ,  *干渉縞 ,  第二高調波発生 ,  エネルギー効率 ,  回折格子 ,  金属薄膜 ,  コヒーレント光 ,  *超短パルスレーザ ,  フェムト秒レーザ
準シソーラス用語： レーザ干渉 ,  メタマテリアル ,  プラズモニック結晶 ,  干渉パターン ,  位相差 ,  SHG【高調波】

分類 (2件)： レーザの応用  (BD04100V) ,  特殊加工  (QC04000Y)

引用文献 (23件)：

• Hill, K.O., Fujii, Y., Johnson, D.C. and Kawasaki, B.S. : Photo-sensitivity in optical fibre waveguides-Application to reflection filter fabrication, Appl. Phys. Lett., 32, (1978), 647.
• Shank, C.V., Bjorkholm, J.E. and Kogelnik H.: Tunable distributed-feedback dye laser, Appl. Phys. Lett., 18, (1971), 395.
• Brown, B.R. and Lohmann, A.W. : Complex spatial filtering with binary masks, Appl. Opt., 9, (1966), 967.
• Qiu, Y., Zhan, L., Hu, X., Luo, S. and Xia, Y.: Demonstration of color filters for OLED display based on extraordinary optical transmission through periodic hole array on metallic film, Display, 32, (2011), 308.
• 石原照也:メタマテリアル,(2007).(in Japanese)

タイトルに関連する用語 (5件)： 短パルスレーザ ,  干渉 ,  進展 ,  メタマテリアル ,  作製