抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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ワイドギャップ酸化物半導体であるZnO(酸化亜鉛)は高効率の紫外発光材料であり,ZnOナノ・マイクロ結晶を光電子デバイスのビルディングブロックとして検討されている。本稿では,ナノ微粒子支援レーザ堆積法(NAPLD)によるZnOナノ結晶と,レーザアブレーション法(LA法)によるZnOマイクロ球の,ふたつのZnOナノ・マイクロ結晶の作製法と発光特性を提示した。レーザ干渉光照射を利用したNAPLDによりZnOバッファ層上に作製した配列ZnOナノ結晶では,光励起によるレーザ発振が確認され,そのモード構造はナノ結晶形状に強く影響されていることが示された。LA法によるZnOマイクロ球のサイズは不均一であるが,ミクロンサイズの球体を容易に作製可能であり,結晶構造を持つことが確認された直径約36.4μmのZnOマイクロ球では,WGMモードによる紫外レーザ発振が確認された。