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J-GLOBAL ID：201802291747533715   整理番号：18A0633838

電子ビーム誘起堆積Ptを用いた自己検出型カンチレバーの変位感度

著者 (8件)： 樫田健汰 (大阪大 大学院) ,  若家冨士男 (大阪大 大学院) ,  村上勝久 (産業技術総合研) ,  山下隼人 (大阪大 大学院) ,  山下隼人 (JST-さきがけ) ,  宮戸祐治 (大阪大 大学院) ,  阿保智 (大阪大 大学院) ,  阿部真之 (大阪大 大学院)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 65th  ページ： ROMBUNNO.20a-B303-8  発行年： 2018年03月05日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2436-7613  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *白金 ,  *片持梁 ,  *変位 ,  応答 ,  *感度 ,  電子ビーム蒸着 ,  金属薄膜
準シソーラス用語： 変位応答 ,  *変位感度

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (6件)： 電子ビーム誘起堆積 ,  Pt ,  自己 ,  カンチレバー ,  変位 ,  感度