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J-GLOBAL ID：201902284334835070   整理番号：19A1376337

放射光ナノビームX線回折を用いた半導体材料・デバイスの構造解析

著者 (7件)： 酒井朗 (大阪大 大学院) ,  志田和己 (大阪大 大学院) ,  植田瑛 (大阪大 大学院) ,  藤平哲也 (大阪大 大学院) ,  今井康彦 (JASRI) ,  隅谷和嗣 (JASRI) ,  木村滋 (JASRI)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 66th  ページ： ROMBUNNO.11p-W933-8  発行年： 2019年02月25日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2436-7613  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： X線回折は物質の格子構造に対する精密な計測を可能にする構造解析手段である.薄膜やバルクを問わず多くの半導体材料・デバイスを非破壊に計測できることから,その利用頻度は極めて高く,今や確立した評価法である.通常の実験室系X線回折装置が100μm...【本文一部表示】

シソーラス用語： ビーム ,  *X線回折 ,  結晶構造解析 ,  X線構造解析 ,  化合物半導体 ,  半導体材料 ,  炭化物 ,  窒化物
準シソーラス用語： *X線ナノビーム ,  シンクロトロンX線回折 ,  炭窒化物 ,  *窒化物半導体

分類 (2件)： X線回折法  (BK01020I) ,  その他の無機化合物の結晶構造  (BK07030J)

タイトルに関連する用語 (5件)： 放射光 ,  ナノビーム ,  X線回折 ,  半導体材料 ,  構造解析