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J-GLOBAL ID：202002212061456517   整理番号：20A2238677

Naフラックス法における電気抵抗測定を用いた結晶成長に伴う溶液状態変化のモニタリング

In-situ monitoring of Na-flux crystal growth by electrical resistance measurement

著者 (6件)： 糸澤孝一 (大阪大 工) ,  RICKSEN Tandryo (大阪大 大学院) ,  村上航介 (大阪大 大学院) ,  今西正幸 (大阪大 大学院) ,  吉村政志 (阪大 レーザー研) ,  森勇介 (大阪大 大学院)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 67th  ページ： ROMBUNNO.14p-A302-5  発行年： 2020年02月28日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2436-7613  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 【はじめに】Naフラックス法では、高温、高圧、腐食性ガス雰囲気という過酷な成長環境により成長過程の観察が困難であった。しかし、GaNウエハを量産するために育成プロセスの安定化は必須であり、安定性の向上のためには、成長中の溶液状態の変化を観察...【本文一部表示】

シソーラス用語： *結晶成長 ,  高圧 ,  高温 ,  *フラックス法 ,  溶解 ,  炭素 ,  窒素 ,  *ナトリウム ,  浸漬 ,  成長段階 ,  窒化ガリウム ,  種結晶

分類 (1件)： 半導体の結晶成長  (BK13040X)

タイトルに関連する用語 (6件)： Na ,  フラックス法 ,  電気抵抗測定 ,  結晶成長 ,  溶液 ,  モニタリング