抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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L1
0構造に規則化したFePd合金膜およびL1
1構造に規則化したCoPt合金膜を先端半径4nmのSi探針に被覆することにより磁気力顕微鏡(MFM)探針を作製し,被覆磁性材料,被覆合金膜の規則度,および,被覆膜厚がMFM分解能と探針反転磁界に及ぼす影響について系統的に調べた。分解能は被覆材料および膜厚により影響された。膜厚を80から20nmに減少させると,L1
0-FePdおよびL1
1-CoPt膜被覆探針の分解能が,それぞれ,9.1から7.9nmまで,9.1から7.5nmまで向上した。規則度(S)が0から0.52に向上するにつれて,80nm厚のL1
0-FePd膜を被覆した探針の反転磁界は0.25から1.50kOeまで増加した。反転磁界は被覆膜厚によっても変化した。膜厚が20から80nmに増加すると,S=0.52のL1
0-FePd膜被覆探針およびS=0.09のL1
1-CoPt膜被覆探針の反転磁界は,それぞれ,0.90から1.50kOeまで,1.70から2.70kOeまで増加した。本研究により,L1
0-FePdもしくはL1
1-CoPt合金膜を先鋭なSi探針に被覆することにより,10nmより高い分解能を持ち,かつ,1.5kOeよりも高い反転磁界を持つMFM探針の作製が可能であることが示された。(著者抄録)
