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J-GLOBAL ID：201202210846933532   整理番号：12A1069580

L1₀およびL1₁規則合金膜を被覆した磁気力顕微鏡探針の空間分解能と反転磁界

Spatial Resolution and Switching Field of Magnetic Force Microscope Tips Coated with L1₀ and L1₁ Ordered Magnetic Films

著者 (3件)： 石原慎司 (中央大 理工) ,  大竹充 (中央大 理工) ,  二本正昭 (中央大 理工)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 112  号： 80(MR2012 1-8)  ページ： 35-42  発行年： 2012年06月07日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： L1₀構造に規則化したFePd合金膜およびL1₁構造に規則化したCoPt合金膜を先端半径4nmのSi探針に被覆することにより磁気力顕微鏡(MFM)探針を作製し,被覆磁性材料,被覆合金膜の規則度,および,被覆膜厚がMFM分解能と探針反転磁界に及ぼす影響について系統的に調べた。分解能は被覆材料および膜厚により影響された。膜厚を80から20nmに減少させると,L1₀-FePdおよびL1₁-CoPt膜被覆探針の分解能が,それぞれ,9.1から7.9nmまで,9.1から7.5nmまで向上した。規則度(S)が0から0.52に向上するにつれて,80nm厚のL1₀-FePd膜を被覆した探針の反転磁界は0.25から1.50kOeまで増加した。反転磁界は被覆膜厚によっても変化した。膜厚が20から80nmに増加すると,S=0.52のL1₀-FePd膜被覆探針およびS=0.09のL1₁-CoPt膜被覆探針の反転磁界は,それぞれ,0.90から1.50kOeまで,1.70から2.70kOeまで増加した。本研究により,L1₀-FePdもしくはL1₁-CoPt合金膜を先鋭なSi探針に被覆することにより,10nmより高い分解能を持ち,かつ,1.5kOeよりも高い反転磁界を持つMFM探針の作製が可能であることが示された。(著者抄録)

シソーラス用語： *磁気力顕微鏡 ,  *磁気探針 ,  *空間分解能 ,  磁化反転 ,  鉄 ,  パラジウム ,  コバルト ,  白金 ,  *規則合金

分類 (1件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

引用文献 (11件)：

• GAO, L. Focused Ion Beam Milled CoPt Magnetic Force Microscopy Tips for High Resolution Domain Images. IEEE Trans. Magn. 2004, 40, 4, 2194-2196
• AMOS, N. Controlling multidomain states to enable sub-10 nm magnetic force microscopy. Appl. Phys. Lett. 2008, 93, 20, 3116-3119
• OHTAKE, M. L1_0 ordered phase formation in FePt, FePd, CoPt, and CoPd alloy thin films epitaxially grown on MgO(001) single-crystal substrates. J. Appl. Phys. 2012, 111, 7, 07A708_1-07A708_3
• IWATA, S. Perpendicular Magnetic Anisotropy and Magneto-Optical Kerr Spectra of MBE-Grown PtCo Alloy Films. IEEE Trans. Magn. 1997, 33, 5, 3670-3672
• SATO, H. Fabrication of L1_1 type Co-Pt ordered alloy films by sputter deposition. J. Appl. Phys. 2008, 103, 7, 07E114_1-07E114_3

タイトルに関連する用語 (6件)： 規則合金 ,  磁気力顕微鏡 ,  探針 ,  空間分解能 ,  反転 ,  磁界