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J-GLOBAL ID：200901042204399509   Update date: Sep. 29, 2022

Ikezawa Shunjiro

イケザワ シュンジロウ | Ikezawa Shunjiro
Affiliation and department：
Chubu University College of Engineering, Department of Electronics and Information Engineering

About Chubu University College of Engineering, Department of Electronics and Information Engineering


Research field  (3)： Electronic devices and equipment ,  Basic plasma science ,  Applied plasma science
Research keywords  (4)： 電子デバイス・機器工学 ,  プラズマ理工学 ,  Electron Device and Apparatus Engineering ,  Plasma Science and Technology
Research theme for competitive and other funds  (6)：
  • EBEP装置によるプロセスプラズマ粒子の選択性とその場制御
  • 電子ビームのプラズマシース電位への影響
  • 表面波プラズマにおける新しい展開
  • Selective and In-Situ Controlled Processing Plasmas Particles by EBEP and Q-Mass and Optical Measurements
  • Influence of Electron Beam on Plasma Sheath Potential
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MISC (45)：
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Patents (1)：
  • プラズマ発生用アンテナ・プラズマ処理装置, プラズマ処理方法, 及び被処理物の製造方法, 並びに半導体装置の製造方法 特願2000-279955
Books (2)：
  • 高密度プラズマ応用プロセス技術(第1章 プラズマプロセスの基礎(P1-26)執筆)
    (株)リアライズ社 1993
  • 電波工学概説
    (株)森北出版 1989
Works (2)：
  • 電子ビーム励起プラズマを用いた新機能材料創製プロセスの開発
    2000 -
  • Development of New Material Process Using Electron Beam-Excited Plasma
    2000 -
Professional career (1)：
  • (BLANK)
Committee career (4)：
  • 1996 - 1997 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス幹事
  • 1992 - 1994 プラズマ・核融合学会 編集委員・第11回年会実行委員長
  • 1991 - 1992 電気学会 東海支部若手セミナー代表
  • 1989 - 1991 日本物理学会 分科の世話人
Association Membership(s) (5)：
応用物理学会 ,  電子情報通信学会 ,  プラズマ・核融合学会 ,  日本物理学会 ,  電気学会
※ Researcher’s information displayed in J-GLOBAL is based on the information registered in researchmap. For details, see here.

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