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J-GLOBAL ID:200901053265613084   Update date: Aug. 29, 2020

Tsuda Michinobu

ツダ ミチノブ | Tsuda Michinobu
Affiliation and department:
Job title: Others
Research keywords  (4): 結晶成長 ,  化合物半導体 ,  Crystal growth ,  Compaund Semiconductor
Research theme for competitive and other funds  (2):
  • 2004 - 2005 MOVPE法によるr面サファイア基板上へのGaNのエピタキシャル成長
  • 2004 - 2005 Epitaxial growth of a-plane GaN on r-plane sapphire substrate by MOVPE
MISC (5):
Patents (12):
  • エピタキシャル基板
  • エピタキシャル基板およびそれを用いた半導体装置
  • エピタキシャル基板ならびに半導体装置および窒化物系半導体の結晶成長方法
  • サファイア基板とそれを用いたエピタキシャル基板およびその製造方法
  • 窒化層を有するサファイア基板およびその製造方法
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Works (6):
  • サファイア基板上への窒化物系半導体のエピ成長と電子走行素子応用に関する研究
    2005 -
  • 窒化物系半導体のエピ成長と積層構造作製によるサファイア基板の最適化に関する研究
    2004 -
  • サファイア基板上窒化物系半導体の電子デバイス作製とその特性評価
    2003 -
  • サファイア基板上GaN系電子デバイスの作製、及び、その評価
    2002 -
  • GaNエピ成長におけるサファイア基板側のパラメータ探求
    2001 -
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Association Membership(s) (2):
電子情報通信学会 ,  日本応用物理学会
※ Researcher’s information displayed in J-GLOBAL is based on the information registered in researchmap. For details, see here.

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