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J-GLOBAL ID：200902015596778410   Reference number：89A0470221

Tribological properties of diamond films grown by plasma-enhanced chemical vapor deposition.

プラズマ促進化学蒸着により成長させたダイヤモンド膜の摩擦・摩耗特性

Author (4)： WONG M S (Northwestern Univ., IL, USA) ,  MEILUNAS R (Northwestern Univ., IL, USA) ,  ONG T P (Northwestern Univ., IL, USA) ,  CHANG R P H (Northwestern Univ., IL, USA)
Material： Applied Physics Letters  (Appl Phys Lett)
Volume： 54  Issue： 20  Page： 2006-2008  Publication year： May. 15, 1989 
JST Material Number： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： diamond ,...

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JST classification (2)： Mechanical properties of solids in general  (BL01021C) ,  Semiconductor thin films  (BK14040E)

Terms in the title (5)： プラズマ促進化学蒸着 ,  成長 ,  ダイヤモンド膜 ,  摩擦 ,  摩耗特性