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J-GLOBAL ID：200902212461473970   Reference number：05A0933699

高精度マルチワイヤソーの開発とその加工性能 第1報:テーブル真直度とフレーム熱変形が加工精度に及ぼす影響

Author (5)： ABE YOSHINORI (トーヨーエイテック) ,  IMAKURUSU SHOJI (トーヨーエイテック) ,  HAMASAKI TATSUMI (トーヨーエイテック) ,  ISHIKAWA KEN'ICHI (金沢工大) ,  SUWABE HITOSHI (金沢工大)
Material： 砥粒加工学会学術講演会講演論文集  (ABTEC)
Volume： 2005  Page： 25-26  Publication year： Sep. 27, 2005 
JST Material Number： L0894A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *wafer ,...
Semi thesaurus term： マルチワイヤソー

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JST classification (1)： Materials of solid-state devices  (NC03020K)

Terms in the title (5)： マルチワイヤソー ,  開発 ,  真直度 ,  熱変形 ,  加工精度