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J-GLOBAL ID：201702227153221837   Reference number：17A0190569

Generation of high-density plasma by high voltage burst pulse

高電圧パルスバースト電源による高密度プラズマの生成

Author (4)： KONNO Shinnosuke (Iwate Univ., Morioka, JPN) ,  TAKAHASHI Katsuyuki (Iwate Univ., Morioka, JPN) ,  MUKAIGAWA Seiji (Iwate Univ., Morioka, JPN) ,  TAKAKI Koichi (Iwate Univ., Morioka, JPN)
Material： プラズマプロセシング研究会プロシーディングス(CD-ROM)  (プラズマプロセシング研究会(CD-ROM))
Volume： 34th  Page： ROMBUNNO.P2-5  Publication year： Jan. 16, 2017 
JST Material Number： L4449B  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *plasma production ,  plasma ,  *pulse wave ,  burst ,  *inductively coupled plasma ,  electron density ,  electron temperature ,  *electrostatic probe ,  *plasma diagnostics
Semi thesaurus term： high density plasma ,  Highvoltage pulse ,  *double probe

JST classification (2)： Plasma production and heating  (BJ02060E) ,  Plasma diagnostics  (BJ02090L)

Terms in the title (3)： 高電圧パルス ,  バースト ,  高密度プラズマ