研究者
J-GLOBAL ID:200901027835072294   更新日: 2024年01月17日

森田 一弘

モリタ カズヒロ | Morita Kazuhiro
所属機関・部署:
職名: 教授
研究分野 (1件): 制御、システム工学
研究キーワード (2件): 制御工学 ,  control engineering
競争的資金等の研究課題 (3件):
  • 2008 - 半導体検査装置の高精度化
  • 2000 - 2005 電子線描画装置の高精度化
  • 2000 - 2005 Electron Beam Lithography
論文 (9件):
MISC (6件):
  • 森田一弘. 中性子線ラジオグラフィ. 茨城県中性子技術移転促進事業. 2008
  • 森田一弘. ダイヤモンド紫外線センサー. 平成19年度茨城県研究成果移転促進事業. 2008. 46. 4. 272-277
  • 森田一弘. 動くものの内部も撮れるX線CT. 平成18年度茨城県研究成果移転促進事業. 2007
  • 森田一弘. レーザを応用した微粒子計測機器/高精度衛星測位システム技術移転可能性調査. 茨城県,茨城大学・茨城工業高等専門学校の技術シーズに係わる技術移転の可能性調査事業. 2002
  • 森田一弘. 微少量液滴塗布法. 平成13年度茨城県技術移転可能性調査事業. 2002
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特許 (18件):
  • 荷電粒子線装置,及び試料検査方法
  • ステージ装置及び試料搬送装置並びに位置決め制御方法
  • 走査電子顕微鏡
  • レシピ実行時間演算装置および半導体検査装置
  • Method and apparatus for probe contacting
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書籍 (1件):
  • 身近な電気・節電の知識
    オーム社 2011 ISBN:9784274210785
講演・口頭発表等 (13件):
  • 第二種完全楕円積分を用いた偏心量計算精度の検討
    (産業応用工学会全国大会2022 2022)
  • 情報化時代の電磁気教育
    (日本技術士会 ロボット技術研究会 2021)
  • Improvement of Software Productivity by The Integrated Software Test Management System
    (2019 23rd International Computer Science and Engineering Conference (ICSEC) 2019)
  • Stabilization of the Precision Positioning Stage Working in the Vacuum Environment by Using the Disturbance Observer
    (The 4th IIAE International Conference on Industrial Application Engineering 2016 (ICIAE2016) 2016)
  • Mapleを活用した半導体製造装置用アクティブ除振システムの開発
    (System Level Engineering Symposium 2015 2015)
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学歴 (3件):
  • 2015 - 2019 東京農工大学大学院 工学府 博士後期課程 電子情報工学専攻 電子応用工学専修
  • 2003 - 2005 茨城大学大学院 理工学研究科 博士後期課程 生産科学専攻
  • 1979 - 1984 茨城工業高等専門学校 電気工学科
学位 (1件):
  • 博士(工学) (東京農工大学)
経歴 (4件):
  • 2020/04 - 現在 国立米子工業高等専門学校 電子制御工学科 教授
  • 2001/04 - 2020/03 茨城工業高等専門学校 電子情報工学科 非常勤講師
  • 1984/04 - 2019/12 株式会社 日立ハイテクノロジーズ
  • 1998/04 - 2005/03 独立行政法人産業技術総合研究所 招聘研究員
委員歴 (2件):
  • 2017/04 - 現在 日本技術士会 ロボット技術研究会 会長
  • 2022/09 - 2023/03 医療機器開発・収益化支援補助金審査委員会 審査委員
受賞 (1件):
  • 2020/01 - The Institute of Industrial Applications Engineers The Best Paper Award for 2019 A Design Method of Precise Positioning Stage in Vacuum Environment by Disturbance Observer with Position Dependent Parameter
所属学会 (2件):
産業応用工学会 ,  精密工学会
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