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文献J-GLOBAL ID:200902000074612530整理番号:90A0222260

Focused ion beam fabrication of submicron gold structures.

サブミクロンサイズの金の構造の集束イオンビームによる作製

著者:BLAUNER P G(Massachusetts Inst. Technology, Massachusetts)、RO J S(Massachusetts Inst. Technology, Massachusetts)、BUTT Y(Massachusetts Inst. Technology, Massachusetts)・・・
資料名:J Vac Sci Technol B 巻:7 号:4 ページ:609-617
発行年:1989年07月
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