ダイナミックイオンミキシング法によるTi-N系薄膜の形成とその機械的性質

文献

J-GLOBAL ID：200902131021631506 整理番号：98A0282921

Formation of Ti-N Thin Films Prepared by Dynamic Ion Mixing Technique and Their Mechanical Properties.

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資料名：
巻： 64 号： 618 ページ： 402-408 発行年： 1998年02月
JST資料番号： F0227B ISSN： 0387-5008 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

Tiの蒸着とNイオンの照射を同時に行うダイナミックイオンミキ...

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