文献
J-GLOBAL ID:200902141895340523   整理番号:94A0154143

歪Si1-xGex/Si量子井戸構造における相互拡散と成長環境の影響

Effect of growth environment on interdiffusion in strained Si1-xGex/Si quantum well structures.
著者 (4件):
資料名:
巻: 54th  号:ページ: 221  発行年: 1993年09月 
JST資料番号: Y0055A  資料種別: 会議録 (C)
発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)

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