文献
J-GLOBAL ID：200902165048609482
整理番号：02A0625616
O2クラスタイオン支援蒸着による光学薄膜形成
Optical Thin Film Formation with O2 Cluster Ion Assisted Deposition.
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著者 (8件)：
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資料名：
巻：
41
号：
6B
ページ：
4291-4294
発行年：
2002年06月30日
JST資料番号：
G0520B
ISSN：
0021-4922
資料種別：
逐次刊行物 (A)
記事区分：
原著論文
発行国：
日本 (JPN)
言語：
英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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分類 (1件)：
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
酸化物薄膜
引用文献 (12件)：
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1) H. A. Macleod: Thin-film Optical Fiters (A. Hilger, Bristol, 1986) 2nd ed.
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2) J. D. Rancourt: Optical Thin Film Users' Handbook (Collier Macmillan, London, 1987).
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3) I. Yamada: Eur. Phys. J. D9 (1999) 55.
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4) M. Akizuki, J. Matsuo, I. Yamada, M. Harada, S. Ogasawara and A. Doi: Nucl. Instrum. & Methods B 112 (1996) 83.
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5) H. Katsumata, J. Matsuo, T. Nishihara, T. Tachibana, K. Yamada, M. Adachi, E. Minami and I. Yamada: Proc. Int. Conf. Applications of Accelerators in Research and Industry (1999) p. 409.
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