研究者
J-GLOBAL ID:200901094930032789
更新日: 2023年07月01日
松井 真二
マツイ シンジ | Matsui Shinji
研究分野 (1件):
電子デバイス、電子機器
研究キーワード (2件):
ナノテクロノジー
, Nanotechnology
競争的資金等の研究課題 (2件):
ナノテクノロジーに関する研究
Research on Nanotechnology
MISC (5件):
MATSUI S. Three-dimensional nanostructure fabrication by focuced-ion-beam chemical vapor deposition. J. Vac. Sci. Technol., B. 2000. 18. 6. 3181-3184
Nanostructure Fabrication using Electron Beam. MRS symposium Proceedings. Material Issues and Modeling for Perice Nanofabrication. 2000. 584. 293-303
Material-wave nanotechnology : Nanofabrication using a de Broglie wave. J. Vac. Sci. & Technol. B. 1998. 16. 4. 2439-2443
Nanostructure Fabrication Using Electron Beam and Its Application to Nanometer Devices. IEEE. 1997. 85. 4. 629-643
J Fujita, M Morinaga, T Kishimoto, M Yasuda, S Matsui, F Shimizu. Manipulation of an atomic beam by a computer-generated hologram. NATURE. 1996. 380. 6576. 691-694
書籍 (1件):
Sub-Half-Micron Lithography for ULSIs
Cambridge University Press 2000
学歴 (2件):
- 1981 大阪大学 基礎工学研究科 電気工学
- 1981 大阪大学
学位 (1件):
博士(工学)
所属学会 (2件):
放射光学会
, 応用物理学会
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