方形波パルス無声放電を用いた非平衡プラズマ化学反応の活性酸素種高効率生成への応用

文献

J-GLOBAL ID：200902192825853594 整理番号：97A0592009

Application of Nonequilibrium Plasma Chemical Reactions Using Pulsed Silent Discharge to Efficient Generation of Active Oxygen Species.

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巻： 63 号： 609 ページ： 1720-1727 発行年： 1997年05月
JST資料番号： F0036B ISSN： 0387-5016 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

非平衡プラズマの簡単な実現方法の一つとして,無声放電が挙げら...

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固体デバイス製造技術一般 , 気体放電

引用文献 (18件)：

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