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J-GLOBAL ID：200902210331853107   整理番号：06A0355152

室温におけるハイパーサーマルO原子ビームによるSi(001)の酸化

Oxidation of Si(001) with a hyperthermal O-atom beam at room temperature: Suboxide distribution and residual order structure
著者 (6件)：
TAGAWA Masahito

TAGAWA Masahito について

(Dep. of Mechanical Engineering, Fac. of Engineering, Kobe Univ., Rokko-dai 1-1, Nada, Kobe, Hyogo 657-8501, JPN)

Dep. of Mechanical Engineering, Fac. of Engineering, Kobe Univ., Rokko-dai 1-1, Nada, Kobe, Hyogo 657-8501, JPN について

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SOGO Chie

SOGO Chie について

(Dep. of Mechanical Engineering, Fac. of Engineering, Kobe Univ., Rokko-dai 1-1, Nada, Kobe, Hyogo 657-8501, JPN)

Dep. of Mechanical Engineering, Fac. of Engineering, Kobe Univ., Rokko-dai 1-1, Nada, Kobe, Hyogo 657-8501, JPN について

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YOKOTA Kumiko

YOKOTA Kumiko について

(Dep. of Mechanical Engineering, Fac. of Engineering, Kobe Univ., Rokko-dai 1-1, Nada, Kobe, Hyogo 657-8501, JPN)

Dep. of Mechanical Engineering, Fac. of Engineering, Kobe Univ., Rokko-dai 1-1, Nada, Kobe, Hyogo 657-8501, JPN について

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YOSHIGOE Akitaka

YOSHIGOE Akitaka について

(Japan Atomic Energy Agency, Kouto 1-1-1, Sayo-cho, Sayo-gun, Hyogo 679-5148, JPN)

Japan Atomic Energy Agency, Kouto 1-1-1, Sayo-cho, Sayo-gun, Hyogo 679-5148, JPN について

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TERAOKA Yuden

TERAOKA Yuden について

(Japan Atomic Energy Agency, Kouto 1-1-1, Sayo-cho, Sayo-gun, Hyogo 679-5148, JPN)

Japan Atomic Energy Agency, Kouto 1-1-1, Sayo-cho, Sayo-gun, Hyogo 679-5148, JPN について

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SHIMURA Takayoshi

SHIMURA Takayoshi について

(Graduate School of Engineering, Osaka Univ., Yamada-oka 2-1, Suita, Osaka 565-0871, JPN)

Graduate School of Engineering, Osaka Univ., Yamada-oka 2-1, Suita, Osaka 565-0871, JPN について


資料名：
Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)

Applied Physics Letters について


巻： 88  号： 13  ページ： 133512-133512-3  発行年： 2006年03月27日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
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シンクロトロン放射光電子分光(SR-PES)及び結晶切断ロッ...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*酸化ケイ素

酸化ケイ素 について

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放射光

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分類 (1件)：
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酸化物薄膜 
(BK14050P)

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