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J-GLOBAL ID：200902212499749987   整理番号：08A0569176

多結晶ダイヤモンドのICPエッチング AFMカンチレバー用のダイヤモンドナノチップの作製

ICP etching of polycrystalline diamonds: Fabrication of diamond nano-tips for AFM cantilevers

著者 (3件)： UETSUKA H. (Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), JPN) ,  YAMADA T. (Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), JPN) ,  SHIKATA S. (Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), JPN)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 17  号： 4-5  ページ： 728-731  発行年： 2008年04月 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 誘導結合プラズマ反応性イオンエッチング(ICP-RIE)システムを用いて,多結晶ダイヤ/Si基板から生活細胞活性の測定用のダイヤナノチップを作製した。プラズマ中のO₂やメタンガスの混合物をエッチング雰囲気として使用した。多結晶ダイヤ膜のエッチング特性を特性化した。多結晶ダイヤのエッチングの際に,粒界の化学結合の不均一性のために意図しないナノウイスカが形成された。終わりに,ナノウイスカのない10μmより長く,50nm以下の先端径を持つナノチップが実現した。Copyright 2008 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *マイクロプローブ ,  *ダイヤモンド ,  多結晶 ,  プラズマエッチング ,  原子間力顕微鏡 ,  ナノメータ加工

分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V)

タイトルに関連する用語 (8件)： 多結晶ダイヤモンド ,  ICP ,  エッチング ,  AFM ,  カンチレバー ,  ダイヤモンド ,  ナノチップ ,  作製