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文献J-GLOBAL ID:200902212499749987整理番号:08A0569176

ICP etching of polycrystalline diamonds: Fabrication of diamond nano-tips for AFM cantilevers

多結晶ダイヤモンドのICPエッチング AFMカンチレバー用のダイヤモンドナノチップの作製

著者:UETSUKA H.(Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), JPN)、YAMADA T.(Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), JPN)、SHIKATA S.(Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), JPN)
資料名:Diam Relat Mater 巻:17 号:4-5 ページ:728-731
発行年:2008年04月
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