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J-GLOBAL ID:200902235391736862   整理番号:05A0079313

極薄ゲートSiO2膜Poly-Si CMOSトランジスタのホットキャリア劣化

Hot Carrier Degradation in Low Temperature Poly-Si CMOS TFT with Ultra-Thin gate SiO2 film
著者 (8件):
資料名:
巻: 104  号: 510(SDM2004 192-208)  ページ: 59-64  発行年: 2004年12月09日 
JST資料番号: S0532B  ISSN: 0913-5685  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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低温ポリシリコン薄膜トランジスタは,次世代ディスプレイを実現...
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分類 (1件):
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トランジスタ 
引用文献 (7件):
  • FURUTA, M. Euro Display'96. 1996, 547
  • HIGASHI, S. AMLCD'00. 2000, 257
  • HAI, P. N. AMLCD'04. 2004, 197
  • SUYAMA, S. Mat. Res. Soc. Symp. 1989, 146, 301
  • 三島康由. FLAT-PANL DISPLAY. 1998, 218
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