特許
J-GLOBAL ID:200903060728945077
脈理を有する材料に対する超音波材料特性解析装置校正用標準試料の作製方法
発明者:
,
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
草野 卓
, 中尾 直樹
, 中村 幸雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-058586
公開番号(公開出願番号):特開2006-242741
出願日: 2005年03月03日
公開日(公表日): 2006年09月14日
要約:
【課題】超音波材料特性解析装置の絶対校正において、脈理を有するような材料を標準試料とする場合、試料内に存在する音響特性分布に起因する校正量のばらつきを低減し、正確な校正量を与えることができる標準試料の作製法および校正方法を与える。【解決手段】脈理面に対して垂直な基板面を有する試料を準備し、この試料に対して脈理面に平行な伝搬方向のバルク波音速(縦波音速、横波音速(偏波方向は脈理面に平行))および、密度を測定することで、音響関連物理定数を決定して標準試料とする。また、LSAW速度の校正量を決定する場合の標準試料に対するLSAW速度の測定は、伝搬方向を脈理面に平行にして行うことで、バルク波音速を測定した部分と等価な特性を有する部分のLSAW速度測定値が得られ、この測定値と標準試料の音響関連物理定数から計算される計算値との比較から得られる校正量を正確に求めることができる。【選択図】図9
請求項(抜粋):
脈理を有する材料に対する超音波材料特性解析装置校正用標準試料の作製方法であり、
(a) 脈理面に対して垂直な面を有する試料基板を切り出す工程と、
(b) 上記試料基板に対し、所望の超音波周波数において、脈理面に平行な方向に伝搬する縦波音速、横波音速の測定および、密度の測定を行う工程と、
(c) 上記縦波音速、横波音速および密度から弾性定数(c11、c44)を決定する工程と、
(d) 上記弾性定数および密度を用いて、漏洩弾性表面波(LSAW)速度の計算値を求める工程と、
(e) 上記試料基板に対し、超音波材料特性解析装置を用いて、脈理面と平行な方向に伝搬するLSAW速度の測定値を得る工程と、
(f) 上記LSAW速度の計算値と測定値を比較することで、校正量を決定する工程と、
を含む超音波材料特性解析装置校正用標準試料の作製方法。
IPC (2件):
FI (2件):
G01N29/18
, G01N29/22 506
Fターム (9件):
2G047AA09
, 2G047AB04
, 2G047BA03
, 2G047BB05
, 2G047BC02
, 2G047BC20
, 2G047EA10
, 2G047FA01
, 2G047GJ24
引用特許: