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J-GLOBAL ID：200902190014899389   整理番号：97A0136249

ワイヤ・イオン・プラズマ源のラングミュアプローブ法によるプラズマ診断

Plasma Diagnostics of Wire Ion Plasma Source by a Langmuir Probe.

著者 (5件)： 真塩健二 (東京工大) ,  浦井一 (東京工大) ,  中山広道 (東京工大) ,  沖野晃俊 (東京工大) ,  堀田栄喜 (東京工大)
資料名： 電気学会全国大会講演論文集  (Annual Meeting Record, I.E.E. Japan)
巻： 1996  号： 1  ページ： 1.131  発行年： 1996年03月 
JST資料番号： S0653A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (5件)： ワイヤ ,  イオン ,  プラズマ源 ,  ラングミュアプローブ ,  プラズマ診断