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J-GLOBAL ID：201202215271160007   整理番号：12A0255194

フレキシブル電子素子製造用の有機半導体とプラズマ相互作用の調査

Investigation of plasma interactions with organic semiconductors for fabrication of flexible electronics devices

著者 (12件)： CHO Ken (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  CHO Ken (JST-CREST) ,  TAKENAKA Kosuke (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  TAKENAKA Kosuke (JST-CREST) ,  SETSUHARA Yuichi (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  SETSUHARA Yuichi (JST-CREST) ,  SHIRATANI Masaharu (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN) ,  SHIRATANI Masaharu (JST-CREST) ,  SEKINE Makoto (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  SEKINE Makoto (JST-CREST) ,  HORI Masaru (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  HORI Masaru (JST-CREST)
資料名： Proceedings of International Symposium on Dry Process  (Proceedings of International Symposium on Dry Process)
巻： 33rd  ページ： 69-70  発行年： 2011年 
JST資料番号： Y0378B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *プラズマ相互作用 ,  フレキシブル基板 ,  *有機半導体 ,  アルゴン ,  酸素 ,  ハイブリッド複合材料 ,  深さ分析 ,  化学結合 ,  *X線光電子分光法 ,  *プラズマ曝露 ,  ナノ構造 ,  亜鉛 ,  分子構造
準シソーラス用語： 有機無機ハイブリッド複合材料 ,  HXPES ,  ナノ界面

分類 (2件)： 固体デバイス材料  (NC03020K) ,  プラズマ応用  (BJ02110K)

物質索引 (1件)： トリス(8-ヒドロキシキノリン)アルミニウム

タイトルに関連する用語 (4件)： 電子素子製造 ,  有機半導体 ,  プラズマ相互作用 ,  調査