文献

J-GLOBAL ID：201702220887196395   整理番号：17A0865198

軟X線回転体ミラーのマンドレル作製システムの開発(第2報) -複数の変位計を用いた自由曲線形状の計測装置開発-

System Development for Fabricating Mandrel of Soft X-ray Rotating-Body Mirror (2^nd Report) -Development of Measurement Machine for Free-Form Shape Using Multiple Displacement Sensors-

著者 (2件)： 武井良憲 (東京大学大学院工学系研究科) ,  三村秀和 (東京大学大学院工学系研究科)
資料名： 精密工学会誌(Web)  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering (Web))
巻： 83  号： 6  ページ： 585-592(J-STAGE)  発行年： 2017年 
JST資料番号： U0462A  ISSN： 1882-675X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ステージの運動誤差や外乱に対して頑健な計測システムを開発した。マンドレルの長さ方向の形状計測を行い,測定結果に基づく形状修正加工を行い,高精度形状プロフィルを得た。3つの変位計を走査及び垂直方向に配置し,マンドレルと基準面の同時計測によってステージの運動誤差,温度変化,振動などの外乱に影響されない計測が可能であり,超平坦ミラーを用いて基準面の形状誤差の測定結果に及ぼす影響及びステージ位置決め誤差を較正でき,高い繰返し精度のマンドリル計測できることなどを確認した。

シソーラス用語： *マンドレル ,  軟X線 ,  *回転物体 ,  *鏡 ,  生産システム ,  開発 ,  計測器 ,  曲線 ,  計測システム ,  ロバスト性 ,  誤差 ,  *集光器 ,  再現性 ,  測定誤差 ,  傾斜
準シソーラス用語： システム開発 ,  ミラー ,  回転体 ,  形状誤差 ,  変位計

著者キーワード (14件)： Ellipsoidal mirror ,  Soft X-rays ,  Focusing optics ,  Multiple displacement sensors ,  Aspheric surface ,  EEM ,  Shape correction processing ,  Ellipsoidal mirror ,  Soft X-rays ,  Focusing optics ,  Multiple displacement sensors ,  Aspheric surface ,  EEM ,  Shape correction processing

分類 (1件)： 光デバイス一般  (BD06010L)

引用文献 (12件)：

• 1) J. Voss, H. Dadras, C. Kunz, A. Moewes, G. Roy, H. Sievers, I. Storjohann and H. Wongel. “A Scanning Soft X-Ray Microscope with an Ellipsoidal Focusing Mirror.” Journal of X-Ray Science and Technology 3, 85-108, (1992).
• 2) Yoshinori Takei, Takehiro Kume, Hiroto Motoyama, Kentarou Hiraguri, Hirokazu Hashizume, Hidekazu Mimura, "Development of a numerically controlled elastic emission machining system for fabricating mandrels of ellipsoidal focusing mirrors used in soft x-ray microscopy." Proceedings of SPIE Vol. 8848, 88480C (2013).
• 3) H. Motoyama, T. Saito, and H. Mimura, “Error Analysis of Ellipsoidal Mirror for Soft X-ray Focusing by Wave-Optical Simulation”, Jpn. J. Appl. Phys. 53 (2014) 022503. 56-62(2006).
• 4) 武井 良憲, 三村 秀和:軟X線回転体ミラーのマンドレル作製システムの開発(第1報)—周方向修正加工システムの開発—, 精密工学会誌, 83巻3号(2017).
• 5) Ralf D Geckeler:Optimal use of pentaprisms in highly accurate deflectometric scanning, Measurement Science and Technology, Volume 18, Number 1(2006).

タイトルに関連する用語 (9件)： 軟X線 ,  回転体 ,  ミラー ,  マンドレル ,  作製システム ,  開発 ,  変位計 ,  曲線 ,  計測装置