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J-GLOBAL ID：201702250566012738   整理番号：17A0362541

MEMS容量性スイッチの誘電体帯電評価のためのプルアップ容量-電圧特性の深さの解析【Powered by NICT】

An in depth analysis of pull-up capacitance-voltage characteristic for dielectric charging assessment of MEMS capacitive switches

著者 (4件)： Koutsoureli M. (Physics Department, University of Athens, 15784 Panepistimioupolis, Athens, Greece) ,  Birmpiliotis D. (Physics Department, University of Athens, 15784 Panepistimioupolis, Athens, Greece) ,  Michalas L. (Physics Department, University of Athens, 15784 Panepistimioupolis, Athens, Greece) ,  Papaioannou G. (Physics Department, University of Athens, 15784 Panepistimioupolis, Athens, Greece)
資料名： Microelectronics Reliability  (Microelectronics Reliability)
巻： 64  ページ： 688-692  発行年： 2016年 
JST資料番号： C0530A  ISSN： 0026-2714  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,実際のデバイスの場合を考慮した解析モデルを導入することにより,MEMS容量性スイッチのプルアップ容量-電圧特性の解析に優れたアプローチを提供することを目的とした,電荷は誘電体膜の表面で均一に分布していないとキャパシタ電機子は平行でない。提案したモデルは,容量-電圧特性の誘導体の利用勾配は充電中に誘起されたデバイスの機械的特性と応力に直接関連を可能にした。非対称容量-電圧特性,充電と放電過程間での放物型アップ状態容量-電圧特性を持つスイッチにMEMSスイッチのモデルの適用は,帯電に及ぼすいくつかの初期の結論とデバイスの機械的性能の延伸を可能にした。デバイス劣化に関する重要な情報を抽出するために進行中である。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 非対称性 ,  解析モデル ,  電機子 ,  *誘電体 ,  放電 ,  電荷 ,  充電 ,  *帯電 ,  *MEMS ,  機械的性質 ,  コンデンサ ,  *スイッチ
準シソーラス用語： 機械的性能 ,  MEMSスイッチ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： RF MEMS容量性スイッチ ,  誘電体帯電 ,  評価法

分類 (2件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G) ,  継電器・スイッチ  (NA05060K)

タイトルに関連する用語 (7件)： MEMS ,  容量性 ,  誘電体 ,  帯電 ,  評価 ,  電圧特性 ,  解析