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J-GLOBAL ID：201702250835036588   整理番号：17A0405820

高温における超臨界CO_2における有機金属の拡散率を推定するための実験的アプローチ【Powered by NICT】

Experimental approach to estimate diffusivity of metal organics in supercritical CO₂ at high temperatures

著者 (4件)： Zhao Yu (Department of Materials Engineering, The University of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, Japan) ,  Shimoyama Yusuke (Department of Materials Engineering, The University of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, Japan) ,  Momose Takeshi (Department of Materials Engineering, The University of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, Japan) ,  Shimogaki Yukihiro (Department of Materials Engineering, The University of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, Japan)
資料名： Journal of Supercritical Fluids  (Journal of Supercritical Fluids)
巻： 120  号： P2  ページ： 209-217  発行年： 2017年 
JST資料番号： W1591A  ISSN： 0896-8446  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高温(>150°C)超臨界二酸化炭素(scCO_2)中の反応性有機金属化合物の拡散率を測定するための新しい実験的方法を報告した。法は超臨界流体堆積(SCFD)を用いた平面および高アスペクト比(高AR)トレンチ基板上に膜を堆積した。SCFDはscCO_2における化学反応を行うことで構成され,無機膜を形成するために一般的に使用される方法である。拡散率は平面基板上の測定した表面反応速度論を用いたプロフィルを適合させることにより推定できる,トレンチ内の薄膜の厚みプロファイルは源前駆体の拡散と表面反応の結果である。法は250 325°Cと20MPaでチタン-ジ(イソプロポキシド)ビス(テトラメチルヘキサンジオナート)で実証した。得られた拡散係数はStokes-EinsteinとChapman-Enskog方程式,液体および気体に対する誘導により各々相関づけられた。拡散係数は修飾したChapman-Enskog方程式によく適合し,超臨界流体の挙動を表現するために衝突パラメータを組み込んだ。このモデリングは,物質移動したガスの,気体に近いことを著者らの実験条件と一致したと類似していることを示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 物質移動 ,  無機分離膜 ,  表面反応 ,  アスペクト比 ,  *高温 ,  反応速度論 ,  反応性 ,  衝突パラメータ ,  *超臨界 ,  モデリング ,  *拡散係数 ,  超臨界流体 ,  超臨界二酸化炭素
準シソーラス用語： 実験条件 ,  トレンチ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 超臨界CO_2 ,  Diffusivity ,  金属有機物 ,  TiO_2

分類 (1件)： 液体の輸送現象一般  (BL06011A)

タイトルに関連する用語 (5件)： 超臨界 ,  有機金属 ,  拡散率 ,  推定 ,  実験