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J-GLOBAL ID：201702286036942592   整理番号：17A0112697

結晶格子とSTEMの走査線によるモアレ縞観察への挑戦~Ge/SiおよびSiGe/Siの場合~

著者 (7件)： 山本千綾 (山梨大 工 ものづくり教育実践セ) ,  山中淳二 (山梨大 クリスタル科学研究セ) ,  白倉麻依 (山梨大 機器分析セ) ,  勝又まさ代 (山梨大 工 ものづくり教育実践セ) ,  篠塚郷貴 (山梨大 工 ものづくり教育実践セ) ,  有元圭介 (山梨大 クリスタル科学研究セ) ,  中川清和 (山梨大 クリスタル科学研究セ)
資料名： 機器・分析技術研究会大会報告集  (機器・分析技術研究会報告集)
巻： 2016  ページ： 7-8  発行年： 2016年09月08日 
JST資料番号： F1088A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *結晶格子 ,  *透過型走査電子顕微鏡 ,  線 ,  *干渉縞 ,  *ゲルマニウム ,  *ケイ素 ,  *半導体材料 ,  集束イオンビーム ,  解析 ,  半導体薄膜 ,  視野 ,  コントラスト ,  最適化 ,  ヘテロ接合 ,  *立体画像 ,  *トモグラフィー ,  *画像再構成 ,  信号再生 ,  信号標本化 ,  *電子顕微鏡観察 ,  歪解析 ,  画像コントラスト ,  圧縮センシング ,  改変
準シソーラス用語： 走査線 ,  モアレ縞 ,  *SiGe ,  *電子線トモグラフィー

分類 (3件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I) ,  顕微鏡法  (BK01040E) ,  13-15族化合物を含まない半導体-半導体接合  (BM03083P)

タイトルに関連する用語 (7件)： 結晶格子 ,  STEM ,  走査線 ,  モアレ縞 ,  観察 ,  Si ,  SiGe