研究者
J-GLOBAL ID:200901060191340460
更新日: 2024年06月19日
有元 圭介
アリモト ケイスケ | Keisuke Arimoto
所属機関・部署:
職名:
准教授
ホームページURL (1件):
http://www.inorg.yamanashi.ac.jp/ccst/laboratories/nakagawa-lab/
研究キーワード (5件):
SiGe
, シリコンゲルマニウム
, 応用物性・結晶工学
, Semiconductor Physics
, SiGe Heterostructure Devices
競争的資金等の研究課題 (18件):
- 2021 - 2024 (110)面を表面に有する歪みシリコン薄膜の酸化膜/半導体界面準位に関する研究
- 2021 - 2024 SnSの欠陥化学の探究と薄膜トランジスタへの展開
- 2020 - 2023 ダイヤモンド結晶中の遷移金属不純物と転位のインタラクション
- 2018 - 2021 イオン注入法による歪みSi/SiGe/Si(110)構造の欠陥と表面形状の制御
- 2015 - 2018 転位形成の抑制による歪みSi/SiGe/Si(110)ヘテロ構造の超高移動度化
- 2014 - 2017 超高移動度一軸歪みゲルマニウム・チャネルデバイスの開発
- 2012 - 2016 イオン注入による欠陥制御を利用した圧縮歪みシリコンの実現と高正孔移動度素子応用
- 2013 - 2015 結晶欠陥形成過程の制御による超高正孔移動度歪みSi薄膜の形成と素子応用
- 2011 - 2012 シリコン・カーボン混晶系歪みヘテロ薄膜の結晶欠陥形成プロセスと電気伝導特性の解明
- 2009 - 2011 極低温トンネル反応と低速電子線誘起反応を利用した炭素薄膜の合成
- 2006 - 2008 シリコン半導体薄膜およびナノ構造材料の極低温合成に関する基礎的研究
- 2002 - Research on Group IV Ultra-high Mobility Semiconductor Devices
- Transport properties of SiGe
- Formation of SiGe thin films and their application
- Modulation of energy band structures by controlling strain
- SiGeの電気伝導特性
- 多結晶SiGe薄膜の形成とその応用
- 歪みの制御によるエネルギーバンド構造の変調
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論文 (87件):
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Taisuke Fujisawa, Atsushi Onogawa, Miki Horiuchi, Yuichi Sano, Chihiro Sakata, Junji Yamanaka, Kosuke O. Hara, Kentarou Sawano, Kiyokazu Nakagawa, Keisuke Arimoto. Influences of lattice strain and SiGe buffer layer thickness on electrical characteristics of strained Si/SiGe/Si(110) heterostructures. Materials Science in Semiconductor Processing. 2023. 161. 107476-107476
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Low temperature synthesis of photoconductive BaSi2 films via mechanochemically assisted close-spaced evaporation. Mater. Adv. 2021. 2. 6713-6721
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Junji Yamanaka, Daisuke Izumi, Chiaya Yamamoto, Mai Shirakura, Kosuke Hara, Keisuke Arimoto. Discrimination between Coherent and Incoherent Interfaces using STEM Moiré. MICROSCOPY AND MICROANALYSIS. 2021. 27. 2326-2327
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Dependences of the hole mobility in the strained Si pMOSFET and gated Hall bars formed on SiGe/Si(110) on the channel direction and the strained Si thickness. JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH. 2021. 571. 126246
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Daisuke Yazawa, Kosuke O. Hara, Junji Yamanaka, Keisuke Arimoto. Investigations on Ba diffusion and SiO evaporation during BaSi2 film formation on Si substrates by thermal evaporation. JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A. 2021. 39. 043410
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MISC (34件):
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原康祐, 塚越由花, 牧瀬啓人, 有元圭介, 星裕介, 松島悟. 電流変調抵抗率測定におけるSiウェーハ表面ダメージの影響. 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2021. 68th
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K. O. Hara, C. Yamamoto, J. Yamanaka, K. Arimoto, K. Nakagawa, N. Usami. Investigation on the origin of preferred a-axis orientation of BaSi2 films deposited on Si(100) by thermal evaporation. Materials Science in Semiconductor Processing. 2017. 72. 93-98
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K. O. Hara, C. T. Trinh, Y. Kurokawa, K. Arimoto, J. Yamanaka, K. Nakagawa, N. Usami. Fabrication of BaSi2 thin films capped with amorphous Si using a single evaporation source. Thin Solid Films. 2017. 646. 546-551
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村上太陽, 有元圭介, 山中淳二, 原康祐, 山本千綾, 宇佐美徳隆, 星裕介, 有澤洋, 澤野憲太郎, 中川清和. イオン注入歪み緩和法を用いて形成したSi/Si1-xCx/Si(001)構造の結晶性評価. 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2016. 77th. ROMBUNNO.15p-P11-8
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有澤洋, 星裕介, 有元圭介, 山中淳二, 中川清和, 澤野憲太郎, 宇佐美徳隆. イオン注入による欠陥制御を用いて作製した圧縮歪みSi/Si1-xCxヘテロ構造の熱的安定性. 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2015. 76th. ROMBUNNO.13P-2W-5
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特許 (1件):
講演・口頭発表等 (112件):
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反射・透過型エリプソメトリー計測における透明基板内反射影響
(第69回応用物理学会春季学術講演会 2022)
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歪みSi/緩和 SiGe/Si(110)ヘテロ構造p-MOSFETの高正孔移動度化とリーク電流の低減
(第69回応用物理学会春季学術講演会 2022)
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機械学習を用いたBaSi2蒸着膜の組成比予測モデルの予測精度改善
(第69回応用物理学会春季学術講演会 2022)
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Si基板上BaSi2近接蒸着膜の実効キャリア寿命
(第69回応用物理学会春季学術講演会 2022)
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2段集束レンズ TEM を用いた NBD による SiGe 面間隔評価の試行
(日本顕微鏡学会 第64回シンポジウム 2021)
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学歴 (4件):
- - 1999 東京大学大学院
- - 1999 東京大学
- - 1997 東京大学
- - 1997 東京大学
学位 (2件):
- Doctor of Philosophy (Engineering) (山梨大学)
- 博士(工学) (山梨大学)
経歴 (5件):
- 2002/03 - 山梨大学 助手
- 2002/01 - 東京大学 技術補佐員
- 2000 - 2001 Scientist, Corning Technology Center
- 2000/10 - コーニング・ジャパン株式会社 研究員
- 1999/04 - 日本テキサス・インスツルメンツ株式会社 社員
受賞 (1件):
- 2019/03/16 - 日本顕微鏡学会関東支部 最優秀ポスター賞 Si(110)基板上に成長したSiGe混晶半導体の高分解能TEM観察
所属学会 (2件):
応用物理学会
, The Japan Society of Applied Physics
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