研究者
J-GLOBAL ID:200901060191340460   更新日: 2024年06月19日

有元 圭介

アリモト ケイスケ | Keisuke Arimoto
所属機関・部署:
職名: 准教授
ホームページURL (1件): http://www.inorg.yamanashi.ac.jp/ccst/laboratories/nakagawa-lab/
研究分野 (2件): 結晶工学 ,  応用物性
研究キーワード (5件): SiGe ,  シリコンゲルマニウム ,  応用物性・結晶工学 ,  Semiconductor Physics ,  SiGe Heterostructure Devices
競争的資金等の研究課題 (18件):
  • 2021 - 2024 (110)面を表面に有する歪みシリコン薄膜の酸化膜/半導体界面準位に関する研究
  • 2021 - 2024 SnSの欠陥化学の探究と薄膜トランジスタへの展開
  • 2020 - 2023 ダイヤモンド結晶中の遷移金属不純物と転位のインタラクション
  • 2018 - 2021 イオン注入法による歪みSi/SiGe/Si(110)構造の欠陥と表面形状の制御
  • 2015 - 2018 転位形成の抑制による歪みSi/SiGe/Si(110)ヘテロ構造の超高移動度化
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論文 (87件):
  • Taisuke Fujisawa, Atsushi Onogawa, Miki Horiuchi, Yuichi Sano, Chihiro Sakata, Junji Yamanaka, Kosuke O. Hara, Kentarou Sawano, Kiyokazu Nakagawa, Keisuke Arimoto. Influences of lattice strain and SiGe buffer layer thickness on electrical characteristics of strained Si/SiGe/Si(110) heterostructures. Materials Science in Semiconductor Processing. 2023. 161. 107476-107476
  • Low temperature synthesis of photoconductive BaSi2 films via mechanochemically assisted close-spaced evaporation. Mater. Adv. 2021. 2. 6713-6721
  • Junji Yamanaka, Daisuke Izumi, Chiaya Yamamoto, Mai Shirakura, Kosuke Hara, Keisuke Arimoto. Discrimination between Coherent and Incoherent Interfaces using STEM Moiré. MICROSCOPY AND MICROANALYSIS. 2021. 27. 2326-2327
  • Dependences of the hole mobility in the strained Si pMOSFET and gated Hall bars formed on SiGe/Si(110) on the channel direction and the strained Si thickness. JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH. 2021. 571. 126246
  • Daisuke Yazawa, Kosuke O. Hara, Junji Yamanaka, Keisuke Arimoto. Investigations on Ba diffusion and SiO evaporation during BaSi2 film formation on Si substrates by thermal evaporation. JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A. 2021. 39. 043410
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MISC (34件):
特許 (1件):
  • 電界効果トランジスタおよびその製造方法
講演・口頭発表等 (112件):
  • 反射・透過型エリプソメトリー計測における透明基板内反射影響
    (第69回応用物理学会春季学術講演会 2022)
  • 歪みSi/緩和 SiGe/Si(110)ヘテロ構造p-MOSFETの高正孔移動度化とリーク電流の低減
    (第69回応用物理学会春季学術講演会 2022)
  • 機械学習を用いたBaSi2蒸着膜の組成比予測モデルの予測精度改善
    (第69回応用物理学会春季学術講演会 2022)
  • Si基板上BaSi2近接蒸着膜の実効キャリア寿命
    (第69回応用物理学会春季学術講演会 2022)
  • 2段集束レンズ TEM を用いた NBD による SiGe 面間隔評価の試行
    (日本顕微鏡学会 第64回シンポジウム 2021)
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学歴 (4件):
  • - 1999 東京大学大学院
  • - 1999 東京大学
  • - 1997 東京大学
  • - 1997 東京大学
学位 (2件):
  • Doctor of Philosophy (Engineering) (山梨大学)
  • 博士(工学) (山梨大学)
経歴 (5件):
  • 2002/03 - 山梨大学 助手
  • 2002/01 - 東京大学 技術補佐員
  • 2000 - 2001 Scientist, Corning Technology Center
  • 2000/10 - コーニング・ジャパン株式会社 研究員
  • 1999/04 - 日本テキサス・インスツルメンツ株式会社 社員
受賞 (1件):
  • 2019/03/16 - 日本顕微鏡学会関東支部 最優秀ポスター賞 Si(110)基板上に成長したSiGe混晶半導体の高分解能TEM観察
所属学会 (2件):
応用物理学会 ,  The Japan Society of Applied Physics
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