特許
J-GLOBAL ID:201103001743471660
ナノメーターサイズ領域の標準粒子の発生方法とその発生装置
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
西澤 利夫
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-346722
公開番号(公開出願番号):特開2001-165824
特許番号:特許第3783912号
出願日: 1999年12月06日
公開日(公表日): 2001年06月22日
請求項(抜粋):
【請求項1】 極微量の水分子を除去した標準ガス雰囲気下で、放射性核種が放射性壊変することにより、放射性希ガスから生じる単原子イオンを発生させることを特徴とする、ナノメーターサイズ領域の標準粒子の発生方法。
IPC (3件):
G01N 1/00 ( 200 6.01)
, G01N 15/00 ( 200 6.01)
, G01N 23/00 ( 200 6.01)
FI (3件):
G01N 1/00 102 A
, G01N 15/00 C
, G01N 23/00
引用特許:
出願人引用 (2件)
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特開昭63-063938
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粒径減少方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-178819
出願人:ゼロックスコーポレイション
審査官引用 (2件)
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特開昭63-063938
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粒径減少方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-178819
出願人:ゼロックスコーポレイション
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