特許
J-GLOBAL ID：201103098536126507
X線検査装置、X線検査方法およびX線検査プログラム
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩上 渉
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-110815
公開番号（公開出願番号）：特開2006-292465
特許番号：特許第4580266号
出願日： 2005年04月07日
公開日（公表日）： 2006年10月26日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 X線を基板上の検査対象品に照射して異なる方向から撮影した複数のX線画像を取得するX線画像取得手段と、
上記複数のX線画像に基づいて再構成演算を実行する再構成演算手段と、
当該再構成演算によって得られた再構成情報に含まれる上記基板の配線パターンの像に特徴的な特徴量を上記再構成情報から抽出し、当該特徴量に基づいて上記検査対象品の良否を判定するための検査位置を決定し、良否判定を行う対象品検査手段とを備えることを特徴とするX線検査装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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