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J-GLOBAL ID：201202294397446469   整理番号：12A1714577

中性粒子ビーム酸化膜を用いた超高速歪みGeチャネルデバイス開発

著者 (5件)： 澤野憲太郎 (東京都市大 総合研) ,  寒川誠二 (東北大 流体科研) ,  榑林徹 (東京都市大 総合研) ,  星裕介 (東京都市大 総合研) ,  和田章良 (東北大 流体科研)
資料名： 東北大学流体科学研究所共同利用・共同研究拠点流体科学研究拠点活動報告書  (Activity Report. Joint Usage/Research Center. Fluid Science Research Center, Institute of Fluid Science, Tohoku University)
巻： 2011  ページ： 47-48  発行年： 2012年10月 
JST資料番号： L8072A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (6件)： 中性粒子ビーム ,  酸化膜 ,  歪み ,  Ge ,  チャネル ,  開発