文献

J-GLOBAL ID：201302223906108554   整理番号：13A0851577

統合Si酸化反応モデルの実験的検証(6):Si(111)における準安定吸着酸素分子の挙動

著者 (8件)： 西本究 (東北大 多元物質科研) ,  TANG Jia Yi (東北大 多元物質科研) ,  小川修一 (東北大 多元物質科研) ,  吉越章隆 (原子力機構) ,  石塚眞治 (長岡技科大) ,  渡辺大輝 (東北大 多元物質科研) ,  寺岡有殿 (原子力機構) ,  高桑雄二 (東北大 多元物質科研)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 60th  ページ： ROMBUNNO.27A-F1-2  発行年： 2013年03月11日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2436-7613  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ケイ素 ,  *酸化 ,  酸化膜 ,  被覆率 ,  *酸素 ,  *準安定状態 ,  *吸着 ,  P型半導体 ,  酸化ケイ素 ,  表面反応
準シソーラス用語： シリコン

分類 (3件)： その他の無触媒反応  (CB06070U) ,  物理的手法を用いた吸着の研究  (CB12043P) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (9件)： 統合 ,  Si ,  酸化反応 ,  モデル ,  実験 ,  検証 ,  吸着 ,  酸素分子 ,  挙動