特許
J-GLOBAL ID:201303005850946116

テラヘルツ波発生器及びその調整方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 三好 秀和 ,  工藤 理恵
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-148391
公開番号(公開出願番号):特開2013-015678
出願日: 2011年07月04日
公開日(公表日): 2013年01月24日
要約:
【課題】テラヘルツ波の発生効率を最大にするテラヘルツ波発生器の調整方法。【解決手段】アレイ型光導波路11からの光学ビームを受光するアレイ型フォトダイオードPD1〜PD4と、アレイ型フォトダイオードのアレイ両端それぞれに設置された2個の調整用フォトダイオードmPD1,mPD2と、2個の調整用フォトダイオードそれぞれの調整用光学ビームmBeam1,mBeam2それぞれに連結された2個の調整用光導波路m11,m12とを備えたテラヘルツ波発生器を用いて、一方のmPD1の出力が最大となるようにアレイ型フォトダイオードに対して水平及び垂直方向にアレイ型光導波路11を移動し、mPD1の最大出力を維持しつつ、他方のmPD2の出力が一方の調整用フォトダイオードの出力と同等になるように、一方のmPD1を軸としてアレイ型光導波路若しくはアレイ型フォトダイオードのアレイを回転させて調整する方法。【選択図】図1
請求項(抜粋):
光学ビームを導くアレイ型光導波路と、 前記アレイ型光導波路からの前記光学ビームを受光するアレイ型フォトダイオードと、 前記アレイ型フォトダイオードのアレイ両端それぞれに設置された2個の調整用フォトダイオードと、 前記2個の調整用フォトダイオードの調整用光学ビームそれぞれに連結された2個の調整用光導波路とを備え、 前記2個の調整用光導波路それぞれから、前記アレイ型光導波路とは別に前記2個の調整用フォトダイオードそれぞれに調整用光学ビームを導き、 前記2個の調整用フォトダイオードの光電流と電圧をモニタリングすることで、アレイ型フォトダイオードの連結が確実に行われているか否かを確認するようにした調整機能付きアレイ型フォトダイオード。
IPC (2件):
G02B 6/42 ,  H01L 31/023
FI (2件):
G02B6/42 ,  H01L31/02 C
Fターム (26件):
2H137AB06 ,  2H137AB11 ,  2H137BA15 ,  2H137BA44 ,  2H137BB12 ,  2H137BB14 ,  2H137BB17 ,  2H137BC02 ,  2H137BC12 ,  2H137CB06 ,  2H137CB07 ,  2H137CB23 ,  2H137CB24 ,  2H137CB25 ,  2H137CB26 ,  2H137CB32 ,  2H137CB34 ,  2H137CB35 ,  5F088AA01 ,  5F088AB07 ,  5F088BA16 ,  5F088BB06 ,  5F088EA03 ,  5F088GA05 ,  5F088JA14 ,  5F088LA01
引用特許:
審査官引用 (3件)

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