特許
J-GLOBAL ID：201303051518701900
自立メソポーラスカーボン薄膜。
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-067013
公開番号（公開出願番号）：特開2009-221050
特許番号：特許第5046122号
出願日： 2008年03月17日
公開日（公表日）： 2009年10月01日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 下記工程を組み合わせることにより得られ、メソ細孔が膜面に対して垂直な方向に開口した規則的メソ多孔体構造を有する自立メソ多孔体(メソポーラス)カーボン薄膜。
(i)界面活性剤と、熱硬化性樹脂前駆体とその架橋剤からなるカーボン前駆体との混合物を基板上に塗布しその薄膜を形成する工程
(ii)該薄膜を、15〜30°C、大気圧条件下で、乾燥する工程
(iii)乾燥した薄膜を加熱してカーボン前駆体をポリマー化する工程
(iv)ポリマー化された薄膜を焼成炭化する工程
(v)焼成炭化されたカーボン薄膜を基板から剥離する工程
(vi)剥離した自立カーボン薄膜を更に焼成炭化する工程
IPC (2件)：
C01B 31/02 ( 200 6.01)
, C01B 37/00 ( 200 6.01)
C01B 31/02 101 Z
, C01B 37/00
