特許

J-GLOBAL ID：201303072232135106

走査プローブ顕微鏡のカンチレバー及びその製造方法、並びに熱アシスト磁気ヘッド素子の検査方法及びその装置

発明者： 張 開鋒 ,  廣瀬 丈師 ,  渡辺 正浩 ,  中込 恒夫 ,  本間 真司 ,  徳冨 照明 ,  中田 俊彦 ,  立▲崎▼ 武弘
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
代理人 (1件)： ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-116361
公開番号（公開出願番号）：特開2013-101099
出願日： 2012年05月22日
公開日（公表日）： 2013年05月23日
要約：

【課題】熱アシスト磁気ヘッドが発生する近接場光と磁界との両方を測定して、熱アシスト磁気ヘッドの検査を行えるようにする。【解決手段】走査プローブ顕微鏡のカンチレバーを、板状の部材の先端部に探針が形成されたレバーと、レバーの探針の表面に薄膜状に形成された磁性体膜と、磁性体膜の表面に形成された貴金属又は貴金属を含む合金の微粒子又は薄膜とを備えて構成した。また、熱アシスト磁気ヘッド素子を検査する検査装置に、探針の表面に磁性膜が形成されていてこの磁性膜の表面に貴金属又は貴金属を含む合金の微粒子又は薄膜が形成されているカンチレバーと、カンチレバーの振動を検出する変位検出手段と、近接場光発光部から発生しカンチレバーの探針の貴金属又は貴金属を含む合金の微粒子又は薄膜で増強された近接場光による散乱光を検出する近接場光検出手段と、変位検出手段と近接場光検出手段とで検出して得た信号を処理する処理手段とを備えた。【選択図】図3A

請求項（抜粋）：

試料表面の磁界と近接場光を計測する走査プローブ顕微鏡のカンチレバーであって、 板状の部材で形成されたレバーと、 該レバーの先端部分に形成された探針と を有し、該探針の表面には磁性膜が形成され、該磁性体膜の表面には貴金属又は貴金属を含む合金の微粒子又は薄膜が形成されていることを特徴とする走査プローブ顕微鏡のカンチレバー。

IPC (6件)：

G01Q 70/08 ,  G11B 5/455 ,  G01Q 60/22 ,  G01Q 60/54 ,  G01Q 80/00 ,  G11B 7/135

FI (9件)：

G01Q70/08 ,  G11B5/455 C ,  G01Q60/22 101 ,  G01Q60/54 101 ,  G01Q80/00 101 ,  G11B7/135 Z ,  G01Q60/22 111 ,  G01Q60/54 111 ,  G11B5/455 Z

Fターム (8件)：

5D789AA22 ,  5D789AA38 ,  5D789CA22 ,  5D789DA20 ,  5D789HA63 ,  5D789JA26 ,  5D789JA63 ,  5D789NA05

引用特許：

出願人引用 (4件)

• ティップ型プローブ製造方法、ティップ型プローブ及びティップ型プローブ製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-039862   出願人：セイコーインスツル株式会社
• SPMプローブおよび発光部検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-188651   出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
• 熱アシスト磁気ヘッド素子の検査方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2012-116362   出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
• 磁気ヘッド検査方法、磁気ヘッド検査装置、及び磁気ヘッド製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-263746   出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ

審査官引用 (4件)

• ティップ型プローブ製造方法、ティップ型プローブ及びティップ型プローブ製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-039862   出願人：セイコーインスツル株式会社
• SPMプローブおよび発光部検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-188651   出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
• 熱アシスト磁気ヘッド素子の検査方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2012-116362   出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
• 磁気ヘッド検査方法、磁気ヘッド検査装置、及び磁気ヘッド製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-263746   出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ