特許
J-GLOBAL ID：201203018011065152
SPMプローブおよび発光部検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-188651
公開番号（公開出願番号）：特開2012-047539
出願日： 2010年08月25日
公開日（公表日）： 2012年03月08日
要約：
【課題】近接場光やマイクロ波のような微小スケールのエネルギー源の空間分布を広い測定範囲、高空間分解能で観測することができるSPMプローブを提供する。【解決手段】SPMカンチレバー1と、SPMカンチレバーの探針部に形成された熱抵抗2と、熱抵抗2の上に形成された絶縁膜3と、絶縁膜3の上に形成された微小スケールエネルギー源を熱に変換する1本の細線4とを備えた。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
微小スケールエネルギー源を検出するSPMプローブであって、
SPMカンチレバーと、
前記SPMカンチレバーの探針部に形成された熱抵抗と、
前記熱抵抗の上に形成された絶縁膜と、
前記絶縁膜の上に形成された前記微小スケールエネルギー源を熱に変換する1本の細線とを備えたことを特徴とするSPMプローブ。
IPC (3件)：
G01Q 60/22
, G01Q 60/32
, G01Q 70/00
G01N13/14 101B
, G01N13/16 101D
, G12B1/00 601A
