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J-GLOBAL ID：201402223180858556   整理番号：14A0410029

絶縁板上セラミック管内のNaCl溶液における高周波プラズマの分光測定

Spectroscopic Measurements of Radiofrequency Plasmas in NaCl Solution within Ceramic Tube on Insulating Plate

著者 (7件)： TANAKA Ayaka Rachel (Ehime Univ., Matsuyama, JPN) ,  HAYASHI Kohken (Ehime Univ., Matsuyama, JPN) ,  MUKASA Shinobu (Ehime Univ., Matsuyama, JPN) ,  TOYOTA Hiromichi (Ehime Univ., Matsuyama, JPN) ,  NOMURA Shinfuku (Ehime Univ., Matsuyama, JPN) ,  KAWASHIMA Ayato (Ehime Univ., Matsuyama, JPN) ,  MAEHARA Tsunehiro (Ehime Univ., Matsuyama, JPN)
資料名： プラズマプロセシング研究会プロシーディングス(CD-ROM)  (プラズマプロセシング研究会(CD-ROM))
巻： 31st  ページ： ROMBUNNO.4P-PM-S09-P23  発行年： 2014年 
JST資料番号： L4449B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： プラズマ ,  塩化ナトリウム ,  ラジカル ,  *回転温度 ,  *電子密度 ,  スペクトロスコピー ,  セラミック ,  材料別管 ,  ヒドロキシルラジカル ,  *プラズマ分光 ,  *RFプラズマ ,  セラミック管
準シソーラス用語： *高周波プラズマ ,  分光測定

分類 (1件)： プラズマ診断  (BJ02090L)

タイトルに関連する用語 (6件)： 絶縁板 ,  セラミック管 ,  NaCl ,  溶液 ,  高周波プラズマ ,  分光測定