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J-GLOBAL ID：201402230222859600   整理番号：14A0720538

ナノ細孔を有するカーボン超薄膜の熱物性

著者 (3件)： 藤井義久 (物質・材料研究機構) ,  佐光貞樹 (物質・材料研究機構) ,  一ノ瀬泉 (物質・材料研究機構)
資料名： 高分子学会予稿集(CD-ROM)  (高分子学会討論会予稿集(CD-ROM))
巻： 63  号： 1  ページ： ROMBUNNO.1PE051  発行年： 2014年05月09日 
JST資料番号： Z0703C  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： ケイ素 ,  基板 ,  *炭素 ,  *超薄膜 ,  *プラズマCVD ,  低温 ,  プラズマ ,  X線光電子スペクトル ,  多孔性 ,  *細孔構造 ,  ナノ構造 ,  原子間力顕微鏡 ,  表面粗さ ,  電子顕微鏡観察 ,  強度 ,  *硬度 ,  *弾性係数 ,  *濾過 ,  物質流束 ,  芳香族化合物 ,  アゾ化合物 ,  脂肪族アルコール ,  大環状化合物 ,  窒素複素環化合物 ,  ジエン ,  架橋化合物 ,  ビニル化合物 ,  ジカルボン酸 ,  アルカン ,  RFプラズマ
準シソーラス用語： 高周波プラズマ

分類 (2件)： ろ過,遠心分離  (XD02050X) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

物質索引 (4件)： アゾベンゼン ,  エタノール ,  プロトポルフィリン ,  ヘキサン

タイトルに関連する用語 (4件)： ナノ細孔 ,  カーボン ,  超薄膜 ,  熱物性