特許
J-GLOBAL ID：201503072102297745
光束変換素子、照明光学装置、露光装置、および露光方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
大野 聖二
, 小林 英了
, 加藤 真司
, 鈴木 守
, 大谷 寛
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-157044
公開番号（公開出願番号）：特開2014-003306
特許番号：特許第5731591号
出願日： 2013年07月29日
公開日（公表日）： 2014年01月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 マスク上のパターンを照明光により照明する照明光学装置であって、
前記照明光の光路に配置されたオプティカルインテグレータと、
旋光性を有する光学材料で形成され、前記光学材料の光学軸の方向が当該照明光学装置の光軸の方向と一致するように前記オプティカルインテグレータの入射側における前記光路に配置されて、前記照明光の偏光状態を変化させる偏光部材と、
を備え、
前記偏光部材は、実質的に直線偏光状態で前記偏光部材に入射した前記照明光が前記オプティカルインテグレータ及び当該照明光学装置の瞳面を介してS偏光を主成分とする偏光状態で前記パターンに照射されるように、前記旋光性によって前記照明光の偏光方向を回転させることを特徴とする照明光学装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ( 200 6.01)
, G03F 7/20 ( 200 6.01)
H01L 21/30 515 D
, G03F 7/20 502
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (9件)
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