特許
J-GLOBAL ID：201403071485847421

照明光学装置、露光装置、露光方法、およびデバイス製造方法

発明者：
豊田 光紀

豊田 光紀 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (5件)： 大野 聖二 ,  小林 英了 ,  加藤 真司 ,  鈴木 守 ,  大谷 寛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-157042
公開番号（公開出願番号）：特開2014-003305
出願日： 2013年07月29日
公開日（公表日）： 2014年01月09日
要約：
【課題】マスク上のパターンを照明光により照明する照明光学装置であって、光量損失を良好に抑えつつ、周方向偏光状態の輪帯状の照明瞳分布を形成する照明光学装置を提供する。【解決手段】照明光の光路に配置されたオプティカルインテグレータと、旋光性を有する光学材料で形成され、オプティカルインテグレータの入射側における光路に配置されて、照明光の偏光状態を変化させる偏光部材4と、を備え、偏光部材4を介した照明光は、当該照明光学装置の瞳面を介してパターンに照射される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
マスク上のパターンを照明光により照明する照明光学装置であって、 前記照明光の光路に配置されたオプティカルインテグレータと、 旋光性を有する光学材料で形成され、前記オプティカルインテグレータの入射側における前記光路に配置されて、前記照明光の偏光状態を変化させる偏光部材と、 を備え、 前記偏光部材を介した前記照明光は、当該照明光学装置の瞳面を介して前記パターンに照射されることを特徴とする照明光学装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  G02B 19/00
FI (4件)：
H01L21/30 515D ,  H01L21/30 527 ,  G03F7/20 521 ,  G02B19/00
Fターム (10件)：
2H052BA02 ,  2H052BA03 ,  2H052BA12 ,  5F146BA03 ,  5F146CB11 ,  5F146CB12 ,  5F146CB13 ,  5F146CB15 ,  5F146CB43 ,  5F146DA01
引用特許：
出願人引用 (12件)
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審査官引用 (8件)
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