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J-GLOBAL ID：201602239024850131   整理番号：16A1003729

集束陽子線微細加工技術による高分子薄膜内包型Mach-Zehnder光導波路・光スイッチの開発

著者 (10件)： 加田渉 (群馬大 理工) ,  三浦聡 (群馬大 理工) ,  猿谷良太 (群馬大 理工) ,  佐藤隆博 (量研機構 高崎研) ,  KUMAR Parajuli Raj (群馬大 重粒子医学研究セ) ,  川端駿介 (群馬大 理工) ,  三浦健太 (群馬大 理工) ,  江夏昌志 (量研機構 高崎研) ,  神谷富裕 (量研機構 高崎研) ,  花泉修 (群馬大 理工)
資料名： 放射線化学討論会講演要旨集  (Program and Abstract. Annual Meetings of the Japanese Society of Radiation Chemistry)
巻： 59th  ページ： 119-120  発行年： 2016年09月20日 
JST資料番号： L0690A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *リソグラフィー ,  *微細加工 ,  *高分子薄膜 ,  *光導波路 ,  光スイッチ ,  陽子ビーム ,  ビーム集束 ,  ポリジメチルシロキサン ,  膜電極 ,  近接場
準シソーラス用語： *陽子線描画 ,  *Mach-Zehnder光導波路

分類 (2件)： その他の光伝送素子  (BD06040S) ,  電子ビーム,イオンビーム  (BD02030F)

タイトルに関連する用語 (8件)： 集束 ,  陽子線 ,  微細加工技術 ,  高分子薄膜 ,  内包 ,  光導波路 ,  光スイッチ ,  開発