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J-GLOBAL ID：201602240187772719   整理番号：16A1280787

圧電体MEMSダイアフラム型超音波センサの上部電極が振動モードに与える影響

著者 (4件)： 西岡知記 (京都工繊大) ,  西海太貴 (京都工繊大) ,  山下馨 (京都工繊大) ,  野田実 (京都工繊大)
資料名： センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)  (センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文集(CD-ROM))
巻： 33rd  ページ： ROMBUNNO.26am1-B-2  発行年： 2016年 
JST資料番号： X0768B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *圧電体 ,  センサ ,  *MEMS ,  ダイヤフラム ,  *音波センサ ,  超音波応用計測 ,  電極 ,  振動モード
準シソーラス用語： MEMSセンサ ,  *超音波センサ

分類 (1件)： 圧電デバイス  (NC03110I)

タイトルに関連する用語 (6件)： 圧電体 ,  MEMS ,  ダイアフラム ,  超音波センサ ,  上部電極 ,  振動モード