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J-GLOBAL ID：201602263931086483   整理番号：16A0883817

アトムプローブ法によるGe中にデルタドープしたPの3次元分布評価

著者 (8件)： 澤野憲太郎 (東京都市大) ,  山田道洋 (慶応大) ,  伊藤公平 (慶応大) ,  清水康雄 (東北大 金属材料研) ,  韓斌 (東北大 大学院工学研究科) ,  と遠 (東北大 大学院工学研究科) ,  井上耕治 (東北大 金属材料研) ,  永井康介 (東北大 金属材料研)
資料名： 東北大学金属材料研究所附属量子エネルギー材料科学国際研究センター共同利用研究経過報告書(CD-ROM)  (共同利用研究経過報告書(CD-ROM))
巻： 32  ページ： 75-76  発行年： 2015年 
JST資料番号： X0416B  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (5件)： アトムプローブ ,  Ge ,  デルタドープ ,  3次元分布 ,  評価