特許

J-GLOBAL ID：201603008915470914

走査プローブ顕微鏡のカンチレバー及びその製造方法、並びに熱アシスト磁気ヘッド素子の検査方法及びその装置

発明者： 張 開鋒 ,  廣瀬 丈師 ,  渡辺 正浩 ,  中込 恒夫 ,  本間 真司 ,  徳冨 照明 ,  中田 俊彦 ,  立▲崎▼ 武弘
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
代理人 (1件)： ポレール特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-116361
公開番号（公開出願番号）：特開2013-101099
特許番号：特許第5832374号
出願日： 2012年05月22日
公開日（公表日）： 2013年05月23日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 試料表面の磁界と近接場光を計測する走査プローブ顕微鏡のカンチレバーであって、 板状の部材で形成されたレバーと、 該レバーの先端部分に形成された探針とを有し、 該探針の表面には磁性膜が形成され、該磁性体膜の表面には貴金属又は貴金属を含む合金の微粒子又は薄膜が形成されていることを特徴とする走査プローブ顕微鏡のカンチレバー。

IPC (6件)：

G01Q 70/08 ( 201 0.01) ,  G11B 5/455 ( 200 6.01) ,  G01Q 60/22 ( 201 0.01) ,  G01Q 60/54 ( 201 0.01) ,  G01Q 80/00 ( 201 0.01) ,  G11B 7/135 ( 201 2.01)

FI (9件)：

G01Q 70/08 ,  G11B 5/455 C ,  G01Q 60/22 101 ,  G01Q 60/54 101 ,  G01Q 80/00 101 ,  G11B 7/135 Z ,  G01Q 60/22 111 ,  G01Q 60/54 111 ,  G11B 5/455 Z

引用特許：

出願人引用 (4件)

• ティップ型プローブ製造方法、ティップ型プローブ及びティップ型プローブ製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-039862   出願人：セイコーインスツル株式会社
• SPMプローブおよび発光部検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-188651   出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
• 熱アシスト磁気ヘッド素子の検査方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2012-116362   出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
• 磁気ヘッド検査方法、磁気ヘッド検査装置、及び磁気ヘッド製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-263746   出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ

審査官引用 (4件)

• ティップ型プローブ製造方法、ティップ型プローブ及びティップ型プローブ製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-039862   出願人：セイコーインスツル株式会社
• SPMプローブおよび発光部検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-188651   出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
• 熱アシスト磁気ヘッド素子の検査方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2012-116362   出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
• 磁気ヘッド検査方法、磁気ヘッド検査装置、及び磁気ヘッド製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-263746   出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ